元朝时为益都路,属山东东西道宣慰司。至正二十七年(1367年),朱元璋政权改益都路为青州府。下领一州,十三县:益都县、临淄县、博兴县、高苑县、乐安县、寿光县、昌乐县、临朐县、安丘县、诸城县、蒙阴县、莒州(沂水县、日照县)[1]。
清代初期,領安東衞,州一,縣十三。雍正中,莒直隸,割蒙陰、沂水、日照,尋降並屬沂,增置博山。乾隆七年衛省。領縣十一:益都縣、博山縣、臨淄縣、博興縣、高苑縣、樂安縣、壽光縣、臨朐縣、安丘縣、昌樂縣、諸城縣。考评:衝,繁,難。登萊青膠道治所。副都統駐[2]。辛亥革命后,全国废府州厅改县,府废。
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